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硅片清洗設(shè)備產(chǎn)品概述： SNGP系列清洗機是根據(jù)硅片性能設(shè)計的一種專業(yè)清洗設(shè)備。設(shè)備具有清洗、漂洗等工位，利用超聲波的空化滲透作用同時結(jié)合清洗劑的化學作用是硅片表面潔凈的效果。系統(tǒng)根據(jù)具體要求可設(shè)有高壓噴洗，超聲波清洗，氣泡攪拌漂洗，DI水超聲漂洗，高壓切風，多工位熱風干燥功能，并設(shè)有搖擺系統(tǒng)可清洗工件死角處的污物，保證了大批量的清洗生產(chǎn)要求。 產(chǎn)品特點： 1.全自動PLC控制，可設(shè)觸摸屏操作面板。 2.自動，手動互換操作功能，可儲存全套工藝程序。 3.溫度數(shù)字顯示，控制指示功能。 4.故障自動報警及診斷功能。 5.清洗槽四面溢水，高精度循環(huán)過濾裝置，和液位保護控制。 6.步進式伺服電機，氣動傳送，精準可靠。 7.采用多個獨立機械手，可以同時完成多工藝要求的清洗。 8.超聲波頻率：25KHZ、28KHZ、 40KHZ、 68KHZ。 適用范圍： 硅片、半導體類產(chǎn)品清洗
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