產(chǎn)品概述：

SNGP系列清洗機是根據(jù)硅片性能設(shè)計的一種專業(yè)清洗設(shè)備。設(shè)備具有清洗、漂洗等工位，利用超聲波的空化滲透作用同時結(jié)合清洗劑的化學(xué)作用是硅片表面潔凈的效果。系統(tǒng)根據(jù)具體要求可設(shè)有高壓噴洗，超聲波清洗，氣泡攪拌漂洗，DI水超聲漂洗，高壓切風(fēng)，多工位熱風(fēng)干燥功能，并設(shè)有搖擺系統(tǒng)可清洗工件死角處的污物，保證了大批量的清洗生產(chǎn)要求。

產(chǎn)品特點：

1.全自動PLC控制，可設(shè)觸摸屏操作面板。

2.自動，手動互換操作功能，可儲存全套工藝程序。

3.溫度數(shù)字顯示，控制指示功能。

4.故障自動報警及診斷功能。

5.清洗槽四面溢水，高精度循環(huán)過濾裝置，和液位保護(hù)控制。

6.步進(jìn)式伺服電機，氣動傳送，精準(zhǔn)可靠。

7.采用多個獨立機械手，可以同時完成多工藝要求的清洗。

8.超聲波頻率：25KHZ、28KHZ、 40KHZ、 68KHZ。

適用范圍：

硅片、半導(dǎo)體類產(chǎn)品清洗